Z特别喜欢吃胖头鱼！所以他经常在家附近的鱼市买鱼，碰巧这个鱼市里面卖的都是胖头鱼，鱼市里有。0条即是不买），⊕表示按位异或运算，这个问题很难回答……
小 Z Z特别喜欢吃胖头鱼！所以他经常在家附近的鱼市买鱼，碰巧这个鱼市里面卖的都是胖头鱼。鱼市里有 n n 家店铺，编号为 1sim n 1∼n，第 i i 家店铺的鱼的库存量为 a_i a i ，即在第 i i 家店铺中小 Z Z可以选择购买 0 sim a_i 0∼a i 条鱼（买 0条即是不买）。 定义小 Z Z的快乐值为在所有店铺买的鱼的数量的异或和，也就是说如果小 Z Z在第 i i 个店铺购买了 b_i b i 条鱼, 那么他的快乐值就等于 oplus_{i=1}^nb_i ⊕ i=1 n b i ，即 b_1 oplus b_2 oplus cdots oplus b_n b 1 ⊕b 2 ⊕⋯⊕b n ，其中 oplus ⊕表示按位异或运算。 有一天，他去鱼市时突然想到了一个问题：如果只在编号为 [l,r] [l,r]的这一段店铺区间中买鱼，有多少购买方法使得自己的快乐值为 s s ？这个问题很难回答…… 因为小 Z Z数学不好。于是，他只好求助聪明的你，来解决这个问题，由于这个答案可能很大，故输出时对 10^9 + 7 10 9 +7 取模。
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